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质量流量控制器的工作原理特征介绍

发布时间:2019-05-10 08:59:43   来源:    浏览次数:
  质量流量控制器可以用于控制各种清洁干燥气体,包括腐蚀性气体和特殊气体,但对于使用腐蚀性气体和特殊气体,需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时,需要向供货厂商特殊说明使用气体,以免因为选型或选择密封材料错误,造成严重损失。通常质量流量控制器接触工作气体的材质为316L不锈钢、密封材质分为金属焊接,聚四氟乙烯和普通氟橡胶。质量流量控制器采用金属焊接密封的MFC原则上可以用于任何气体,包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三溴化硼、三氯化硼、氟化氢等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议最好采用金属焊接密封的MFC。
 
  质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。质量流量控制器传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
 
  质量流量控制器是利用热传导原理测量流体流量的仪表,质量流量控制器采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。质量流量控制器具有体积小,数字化程度高,安装方便,测量准确等优点。质量流量控制器可用于玻璃、太阳能、大气监测、工业制作、煤炭冶金、制气配气、环保等各种工业企业的气体管路分配控制、烃类气体、可燃性气体、烟道气等气体的质量流量或实际工况的体积流量测量和监控。
 
    质量流量器设备体积小巧,安装方便,操作简单,测量精准,微小的流量也能精准测量。质量流量器可以精准地控制气体的给定量,多很多工艺流程中各个环节过程可能有不同的流量,对不同的气体也能准确的控制。
 

 


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